氧化锌靶材

AZO优点:

致密度高:≥99。95%

稳定性高:可承受更高溅射功率

晶粒尺寸:≤20um

电阻率好:优于同类产品

 

新濠娱乐平台氧化锌(AZO)靶材性能指标如何?

致密度:>99.95%

密  度:>5.52g/cm3

电阻率:≤3×10-3Ω*㎝

晶粒尺寸:<20um<>

含氧量充足,无需通氧溅射

稳定性好,可承受更高溅射功率

成分:98wt%ZnO+2wt%Al2O3

注:根据客户需求,可提供Al2O3掺杂量在0.06%-3wt%


GZO优点:

致密度高:≥99.95%

稳定性高:可承受更高溅射功率

晶粒尺寸:≤20um

电阻率好:优于同类产品

新濠娱乐平台氧化锌(GZO)靶材性能指标如何?

致密度:>99。95%

密  度:>5.50g/cm3

电阻率:≤7×10-3Ω*㎝

光电性能与ITO媲美

成分:95wt%ZnO+5wt%Ga2O3

注:根据客户需求,可提供Ga2O3掺杂量在0.5%-6wt%

IZO优点:

致密度高:≥99.95%

稳定性高:可承受更高溅射功率

晶粒尺寸:≤20um

电阻率好:优于同类产品

新濠娱乐平台氧化锌(IZO)靶材性能指标如何?

致密度:>99.95%

密  度:>5。50g/cm3

良好湿热稳定性、高温热稳定性

抗弯折能力强,薄膜粗糙度低至0.9um

成分:94wt%ZnO+6wt%In2O3

注:根据客户需求,可提供In2O3掺杂量在1%-15wt%

i-zo优点:

致密度高:≥99.95%

稳定性高:可承受更高溅射功率

晶粒尺寸:≤20um

电阻率好:优于同类产品

新濠娱乐平台氧化锌(i-ZO)靶材性能指标如何?

致密度:>99。95%

密  度:>5。40g/cm3

晶粒尺寸:<20um<>

均匀性好,稳定性高,可承受更高溅射功率


MZO优点:

致密度高:≥99.95%

稳定性高:可承受更高溅射功率

晶粒尺寸:≤20um

电阻率好:优于同类产品

新濠娱乐平台氧化锌(MZO)靶材性能指标如何?

致密度:>99。95%

密  度:>5.52g/cm3

电阻率:≤3×10-3Ω*㎝

晶粒尺寸:<20um<>

成分:98wt%ZnO+2wt%MgO

注:根据客户需求,可提供MgO掺杂量在1%-3wt%


产品展示

  • AZO

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  • IZO

  • i-zo

  • MZO

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