技术支持

经典技术

  • 高温退火炉

  • 三槽式工件清洗

  • 团簇式PECVD

  • 单腔室PECVD

  • 大面积镀膜机(2.1米)

  • 等离子静压机

  • 平面磨床

  • 去离子水装置

  • 狭缝涂布机

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